ADI在线研讨会:微电子机械系统的性能及应用分析 2022-10-10 16:18:57 浙江桥梁U肋MEMS是指大小在毫米量级以下,构成单元尺寸在微米、纳米量级的可控制的可运动的微型机电装置,是集成微机构、微 、微执行器以及信号处理控制等功能于一体的系统。